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羅昇雙路出擊 優化智造產線

羅昇(8374)轉投資資騰科技昨(9)日宣布,攜手友達旗下專注綠色技術與智慧科技服務的宇沛永續,透過晶圓外觀瞬檢量測機(AIE)與自主移動機器人(AMR),協助國內半導體產線在檢測與搬運兩大環節大幅升級。

資騰總經理陳國榮表示,該公司的核心優勢是能深入理解客戶製程需求,並與技術領先的合作夥伴緊密整合,提供能立即創造產線價值的解決方案。這次的系統導入,不僅改善檢測與搬運的效率瓶頸,也讓客戶同步提升生產力與良率。

檢測方面,資騰與宇沛永續導入的晶圓外觀瞬檢量測機(AIE),能一次完成晶圓三大關鍵量測,包含直徑、面幅與缺陷檢測。檢測精度可達正負3微米,最小可辨識缺陷達40微米,等於為產線配備了「精密快速的AI檢測員」。不僅讓檢測速度提升50%以上,也能大幅降低誤判,協助工廠有效控管品質並提升良率。

AI 晶圓

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